MEMS Mirror in Hermetic Package for Enhanced Performances
Rotta, Davide
;Chiesa, Marco
;Bogoni, Antonella
2023-01-01
File in questo prodotto:
File | Dimensione | Formato | |
---|---|---|---|
MEMS_Mirror_in_Hermetic_Package_for_Enhanced_Performances.pdf
solo utenti autorizzati
Tipologia:
Documento in Pre-print/Submitted manuscript
Licenza:
Copyright dell'editore
Dimensione
3.15 MB
Formato
Adobe PDF
|
3.15 MB | Adobe PDF | Visualizza/Apri Richiedi una copia |
I documenti in IRIS sono protetti da copyright e tutti i diritti sono riservati, salvo diversa indicazione.